高真空退火炉的设备优势与应用

　　目前高温退火炉加热大都为管式炉或马弗炉，原理为加热丝或硅碳棒对炉体加热，加热与降温速度慢，效率低下，也无法实现温度的高的精度测量，加热区域也存在不均匀的现象，华测仪器通过多年研究开发了一种可实现高的精度，高反射率的抛物面与高质量的加热源相配置，在高速加热高速冷却时，具有良好的温度分布。可实现宽域均热区，高速加热、高速冷却，用石英管保护加热式样，无气氛污染。可在高真空，高纯度气体中加热。设备可组成均热高速加热炉，温度斜率炉，阶段加热炉，是一种目前较为理想的真高空退火炉。
 

　　高真空退火炉设备优势：
 

　　1.高速加热与冷却方式
 

　　高能量的红外灯和镀金反射方式允许高速加热到高温。同时炉体可配置水冷系统，增设气体冷却装置，可实现快速冷却。
 

　　2.温度高的精度控制
 

　　过红外镀金聚焦炉和温度控制器的组合使用，可以精que控制样品的温度(远比普通加温方式)。此外，冷却速度和保持在任何温度下可提供高的精度。
 

　　3.不同环境下的加热与冷却
 

　　加热/冷却可用真空、气氛环境、低温(高纯度惰性气体静态或流动)，操作简单，使用石英玻璃制成。红外线可传送到加热/冷却室。
 

　　高真空退火炉的应用：
 

　　1.电子材料
 

　　半导体用硅化合化的PRA(加热后急速冷却)
 

　　热源薄膜形成·激活离子注入后硅化物的形成
 

　　2.陶瓷与无机材料
 

　　陶瓷基板退火炉
 

　　玻璃基板退火炉
 

　　陶瓷张力、挠曲试验退火炉
 

　　3.钢铁和金属材料
 

　　薄钢板加热过程的数值模拟
 

　　炉焊接模拟
 

　　高真空热处理(1000℃以下)
 

　　大气气体熔化过程
 

　　压力下耐火钢和合金的热循环试验炉
 

　　4.复合材料
 

　　耐热性评价炉
 

　　无机复合材料热循环试验炉
 

　　5.其它
 

　　高温拉伸压缩试验炉
 

　　分段分区控制炉
 

　　温度梯度炉
 

　　炉气分析
 

　　超导陶瓷退火炉